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四氟化硅的研究进展
作 者 : 何元琴
刊 名 : 建材与装饰
出版日期 : 2018
期 号 : 第32期
页 码 : 188-189
ISSN : 1673-0038
影响因子 : 0.6525(2018)
作者简介 : 何元琴(1989-),女,初级,硕士研究生,从事教师工作。
关键词 : 四氟化硅;研究进展;制备工艺
参考文献格式 : 何元琴.四氟化硅的研究进展[J].建材与装饰,2018,(第32期).
摘 要 : 四氟化硅是目前电子工业的重要原料,特别是在多硅晶行业的快速发展下,四氟化硅需求量显著提升,相关研究也取得了显著进展。本文将对四氟化硅研究进展进行总结和分析,包括氟硅酸盐热解工艺、硫酸法制备工艺、氢氟酸法制备工艺等。

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